紫外線(xiàn)光源在高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用
下表例示了在高新領(lǐng)域主要的一些應(yīng)用、相關(guān)波長(zhǎng)以及通常使用的相關(guān)光源。|
應(yīng)用
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主要相關(guān)波
長(zhǎng)
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一般使用光源
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光清洗
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150-300nm
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石英低壓水銀放電管、光化學(xué)用水銀燈、鹵素激元體放電管（excimer lamp）
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光蝕刻
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150-300nm
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低壓石英水銀燈、鹵素激元體激光、超高壓水銀燈
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光灰化（感光膜剝離）
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150-300nm
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低壓水銀燈、光化學(xué)用水銀燈、鹵素激元體放電管、超高壓水銀燈
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光改質(zhì)、改性
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150-300nm
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低壓水銀放電管、光化學(xué)用水銀燈、鹵素激元體放電管
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光刻、曝光
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0.1-480nm
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光化學(xué)用水銀燈、超高壓水銀燈、鹵素激元體放電管、鹵素激元體激光（excimer laser）、X線(xiàn)源、電子束、毛細(xì)管型超高壓水銀燈、Deep UV線(xiàn)燈、氙燈
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光CVD
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150-400nm
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光化學(xué)用水銀燈、低壓石英放電管、鹵素激元體放電管、鹵素激元體激光、同步加速器放射光
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光觸媒、光催化作用
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150-400nm
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低壓石英水銀燈、殺菌燈、紫外線(xiàn)熒光燈、高壓水銀燈
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光分解
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150-400nm
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低壓石英水銀燈、殺菌燈、高壓水銀燈、鹵素激元體放電管
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光氧化
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150-400nm
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低壓石英水銀燈、殺菌燈、高壓水銀燈
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光合成
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250-600nm
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石英水銀燈、金鹵燈
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光固化、硬化、干燥、膠合
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200-480nm
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光化學(xué)用水銀燈、金鹵燈、氙燈、水銀氙燈、紫外線(xiàn)熒光燈、無(wú)電極燈
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紫外線(xiàn)造型
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200-480nm
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高壓汞燈、光化學(xué)用水銀燈、金鹵燈、氙燈、低壓石英水銀燈、光造型用Ar激光器
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殺菌
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200-320nm
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低壓石英水銀燈、殺菌燈、石英水銀燈、冷陰極水銀燈、無(wú)電極紫外線(xiàn)殺菌放電管
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基因?qū)爰夹g(shù)
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200-300nm
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紫外線(xiàn)低壓汞燈、冷陰極汞燈
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臭氧檢測(cè)
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200-300nm
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冷陰極石英汞燈、低壓石英水銀燈
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光電子表面分析
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10-400nm
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氦輝光放電管、激光、同步加速器放射光
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元素分析
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100-400nm
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原子光譜燈、無(wú)極微波紫外光譜燈
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